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基于PMMA模具的聚合物纳米沟道热压成形
 
     论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-20页
   ·纳流控芯片与纳米沟道第9页
   ·纳流控芯片的制作材料第9-11页
     ·硅材料第9-10页
     ·玻璃和石英第10页
     ·高分子聚合物第10-11页
   ·聚合物纳米沟道的制作方法第11-18页
   ·课题的提出及工作内容第18-20页
     ·课题研究背景与提出第18-19页
     ·本文的工作内容第19-20页
2 硅纳米模具的制作工艺研究第20-30页
   ·硅模具制作工艺流程第20-21页
   ·光刻工艺过程第21-23页
     ·掩模版结构设计第21-22页
     ·光刻参数选取第22-23页
   ·二氧化硅及硅刻蚀工艺第23页
     ·二氧化硅刻蚀工艺参数第23页
     ·硅刻蚀工艺参数第23页
   ·二氧化硅沉积过程的工艺选择第23-28页
     ·热氧化法第23-27页
     ·沉积法第27-28页
   ·本章小结第28-30页
3 PMMA子模的制作工艺研究第30-41页
   ·热压成形技术第30-31页
   ·热压装备第31-33页
     ·热压成形机结构第31页
     ·夹具设计第31-32页
     ·热压实验工艺过程第32-33页
   ·PMMA子模的制作第33-39页
     ·试验材料第33-34页
     ·压力对通道热压成形的影响第34页
     ·温度对通道热压成形的影响第34-38页
     ·PMMA的复制精度和相对标准偏差第38-39页
   ·本章小结第39-41页
4 PET纳米沟道的制作工艺研究第41-52页
   ·实验可行性研究第41页
   ·PET纳米沟道的制作第41-44页
     ·实验材料第41-42页
     ·温度对PET纳米沟道成型的影响第42-43页
     ·PET纳米沟道的复制精度和相对标准偏差第43-44页
   ·PMMA子模的寿命第44-45页
   ·PDMS的浇注第45-46页
   ·PET二维纳米沟道的制作第46-50页
     ·硅二维纳米模具第46-47页
     ·PMMA二维纳米模具第47-49页
     ·PET二维纳米沟道第49页
     ·PET二维纳米沟道的复制精度和相对标准偏差第49-50页
   ·本章小结第50-52页
结论第52-53页
参考文献第53-56页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第56-57页
致谢第57-58页

 
 
论文编号BS164,这篇论文共58
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